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射頻寬波束離子源

發布時間:  2023-05-08

產品型號:  

所  在  地:  北京市朝陽區酒仙橋東路1號M7棟東5層

產品特點:  射頻離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置,在高頻電場中,自由電子與氣體中的原子(或分子)碰撞,并使之電離。

(聯系我時,請說明是在化工儀器網上看到的信息,謝謝?。?/div>
產品概述

射頻寬波束離子源

RF/F 40   RF/I 40

rf40_jpg.jpg

1 射頻寬波束離子源

產品功能

射頻離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置,在高頻電場中,自由電子與氣體中的原子(或分子)碰撞,并使之電離。帶電粒子倍增的結果,形成無極放電,產生大量等離子體,高頻場可若管外螺線管線圈產生,則者稱為電感耦合。

1.      RF40使用簡單、緊湊的電感功率耦合的無燈絲源,配備特殊電網絕緣調節系統,所有的惰性氣體以及氧氣等活性氣體均可適用于離子源,柵網系統有多種形狀與材料。

2.      RF40安裝在儀器內部和外部均可,使用功能陶瓷,維護方便快捷,工作壽命長,射頻電源通過50歐姆電纜提供,不需要額外的匹配單元。

技術規范

gaitubao_網頁版rf40 2_jpg.jpg

2 射頻寬波束離子源尺寸布局

參數

RF/F40

RF/I40

類型

外部法蘭安裝射頻激勵離子源

多孔徑提取柵網

內部安裝射頻激勵離子源

多孔徑提取柵網

源材料

放電管:Al2O3

柵網:CMo

射頻線圈:鍍銀和水冷銅

永磁體:AlNiCo

外殼:不銹鋼

射頻匹配元件:CuAl2O3

柵網類型

2柵網或3柵網系統

3種不同焦距的標準系統

型號

參見上圖(無中和器)

重量

1.8kg

1.2kg

法蘭

DN 100 CF

3DN 40 CF介質引線

RF電源

~75 to 300 W at 13.56 MHz

離子電流

最大50 mA(取決于柵網類型和運行條件)

離子能量

50 2000 eV

加速電壓

0 –1000 V

過程氣體

惰性氣體,O2,N2,CXHY(無限制)

含鹵素氣體(減少柵壽命)

氣流流量

1 -10 sccm

接頭:6 mm Swagelock

1 -10 sccm

接頭:1/8“Swagelock(空氣和真空)

冷卻水

1.5L/min

1.5L/min

電連接

射頻:同軸N

直流:BNC

射頻:同軸N型(空氣和真空)

DC:BNC(空氣側),電源接通

(真空側)0.5米真空電纜




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