發布時間： 2023-05-08
產品型號：
所 在 地： 北京市朝陽區酒仙橋東路1號M7棟東5層
產品特點： 熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發射原初電子，發射出來的原初電子，經過鞘層被加速獲得相應于等離子體與之間電位差的參數。
KF/F 40 KF/I 40
圖1 熱燈絲寬波束離子源
熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發射原初電子，發射出來的原初電子，經過鞘層被加速獲得相應于等離子體與之間電位差的參數。等離子體的電位略高于陽電位。這類高速電子與從進氣口均勻進入放電室的氣體原子相碰撞形成等離子體，形成的離子被離子光學系統發出形成離子束。
1. KF40使用簡單、緊湊的考夫曼離子源，可以方便快速地更換燈絲，配備特殊電網絕緣調節系統，所有的惰性氣體以及氮氣均可適用于離子源，柵網系統有多種形狀與材料。
2. KF40安裝在儀器內部和外部均可，使用功能陶瓷，維護方便快捷，工作壽命長。
技術規范
圖2 熱燈絲寬波束離子源尺寸布局
參數 | KF/F40 | KF/I40 |
類型 | 法蘭安裝考夫曼子源 多孔徑提取柵網 | 內部安裝射考夫曼源 多孔徑提取柵網 |
源材料 | 放電管：Al2O3 柵網：C或Mo 燈絲固定器：Mo 永磁體：AlNiCo 外殼：不銹鋼 燈絲：鎢 | |
柵網類型 | 2柵網或3柵網系統 3種不同焦距的標準系統 | |
型號 | 參見上圖（無中和器） | |
重量 | 約4.5kg | 約2.5kg |
法蘭 | DN 100 CF | 3個DN 40 CF介質引線 |
電流: | 30A | |
放電電流/電壓 | 6A / 150 V | |
離子電流 | 25 mA（取決于柵網類型和運行條件） | |
離子能量 | 50 到 1500 eV | |
加速電壓 | 0 –1000 V | |
過程氣體 | 惰性氣體，N2，不能是活性氣體 | |
氣流流量 | 2-7sccm 接頭：6 mm Swagelock | 2-7sccm 接頭：1/8“Swagelock（空氣和真空） |
電連接 | HV-DC：BNC HC-DC：電源啟動 | 空氣側：BNC，電源接通 真空側：包括0.5米真空電纜的電源啟動 |
電話咨詢
地址：北京市朝陽區酒仙橋東路1號M7棟東5層
郵箱：instruments@goldway.com.cn