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熱燈絲寬波束離子源

發布時間:  2023-05-08

產品型號:  

所  在  地:  北京市朝陽區酒仙橋東路1號M7棟東5層

產品特點:  熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發射原初電子,發射出來的原初電子,經過鞘層被加速獲得相應于等離子體與之間電位差的參數。

(聯系我時,請說明是在化工儀器網上看到的信息,謝謝?。?/div>
產品概述

熱燈絲寬波束離子源

KF/F 40   KF/I 40

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1 熱燈絲寬波束離子源

產品介紹

熱燈絲離子源是通過加熱燈絲發射原初電子,發射出來的原初電子,經過鞘層被加速獲得相應于等離子體與之間電位差的參數。等離子體的電位略高于陽電位。這類高速電子與從進氣口均勻進入放電室的氣體原子相碰撞形成等離子體,形成的離子被離子光學系統發出形成離子束。

1.      KF40使用簡單、緊湊的考夫曼離子源,可以方便快速地更換燈絲,配備特殊電網絕緣調節系統,所有的惰性氣體以及氮氣均可適用于離子源,柵網系統有多種形狀與材料。

2.      KF40安裝在儀器內部和外部均可,使用功能陶瓷,維護方便快捷,工作壽命長。

技術規范

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2 熱燈絲寬波束離子源尺寸布局

參數

KF/F40

KF/I40

類型

法蘭安裝考夫曼子源

多孔徑提取柵網

內部安裝射考夫曼源

多孔徑提取柵網

源材料

放電管:Al2O3

柵網:CMo

燈絲固定器:Mo

永磁體:AlNiCo

外殼:不銹鋼

燈絲:鎢

柵網類型

2柵網或3柵網系統

3種不同焦距的標準系統

型號

參見上圖(無中和器)

重量

4.5kg

2.5kg

法蘭

DN 100 CF

3DN 40 CF介質引線

電流:

30A

放電電流/電壓

6A / 150 V

離子電流

25 mA(取決于柵網類型和運行條件)

離子能量

50 1500 eV

加速電壓

0 –1000 V

過程氣體

惰性氣體,N2,不能是活性氣體

氣流流量

2-7sccm

接頭:6 mm Swagelock

2-7sccm

接頭:1/8“Swagelock(空氣和真空)

電連接

HV-DCBNC

HC-DC:電源啟動

空氣側:BNC,電源接通

真空側:包括0.5米真空電纜的電源啟動




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