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可調ECR離子源

發布時間:  2023-05-08

產品型號:  ECR125

所  在  地:  北京市朝陽區酒仙橋東路1號M7棟東5層

產品特點:  ECR離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置。在離子源內,等離子體運動軌跡是一條螺旋線。

(聯系我時,請說明是在化工儀器網上看到的信息,謝謝?。?/div>
產品概述

可調ECR離子源

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圖1  EC/A125


  • 技術規范

ECR離子源是利用稀薄氣體中的高頻放電現象使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置。在離子源內,等離子體運動軌跡是一條螺旋線。當電磁場的頻率ω等于回旋頻率ωc時,電子會發生共振吸收,此時電子對微波電場產生很強的吸收(提高幾個數量級),獲得巨大的電子會撞擊原子產生新的電子,而電離出的電子很快也會發生回旋共振,撞擊原子產生更多的電子,從而使得真空室內等離子體可以達到很高的濃度。電子回旋共振不但讓電子獲得大幅增加,而且使得電子和原子碰撞的幾率大大增加,這使得等離子體的濃度得到很大提高。

1. EC125可調離子源用于外部法蘭安裝,使用簡單、緊湊的微波耦合的無燈絲源,配備特殊電網絕緣調節系統,在交變電場與永磁體的靜磁場的作用下,等離子體在真空室內部發生產生電子回旋共振(ECR)。

2. EC125可調離子源使用功能陶瓷,維護方便快捷,工作壽命長(超過300小時),所有的惰性氣體以及氧氣等活性氣體均可適用于離子源,柵網系統有多種形狀與材料,并擁有全方向節點機械調整系統(每個方向10 grd),方便實現工藝適應。


  • 技術規范

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圖2 帶有PBN的 EC/A125

表1

參數

EC/A125

EC/F125

類型

法蘭安裝可調射頻ECR離子源

多孔徑提取柵網

法蘭安裝射頻ECR離子源

多孔徑提取柵網

源材料

放電管:Al2O3

柵網:CMo

微波天線的真空分離:二氧化硅杯

永磁體:NdFeB

外殼:不銹鋼

磁屏蔽:鍍鎳鋼

柵網類型

2柵網或3柵網系統

2種不同焦距的標準系統

型號

插入深度:280 mm(無PBN

直徑:220 mm(無PBN

插入深度:135 mm(不帶PBN

直徑:220 mm(無PBN

重量

14.5kg

11.5kg

法蘭

DN 250

DN200

微波電源

~125 to 400 W at 2.45 GHz

離子電流

180 mA(取決于電網類型和運行條件)

離子

100 2000 eV

加速電壓

0 –1000 V

過程氣體

惰性氣體,N2(無限制)

O2和含鹵素氣體(柵極壽命縮短)

氣流流量

5-20sccm

接頭:1/8“Swagelock(空氣和真空)

冷卻水

1.5 l/min

接頭

6 mm Swagelock




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